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FDS型分子泵機(jī)組是分子泵與前級干泵或雙級旋片泵串聯(lián)，前級管路、真空閥門分子泵電源，控制電源及測量復(fù)合真空計等組裝于機(jī)架而成的清潔超高真空獲得設(shè)備。

應(yīng)用領(lǐng)域

可廣泛用于表面分析，加速器技術(shù)，半導(dǎo)體設(shè)備，等離子體技術(shù)，電真空器件的制造及真空技術(shù)各領(lǐng)域。

性能特點

安裝方便，操作簡單，結(jié)構(gòu)緊湊，

性能可靠，真空度高，噪音低

技術(shù)性能